Mesures de Planeité- parallélisme
L'interféromètre Tropel permet de mesurer des tranches jusqu’à 200 mm avec une précision de 50 nm :
- la planéité : bow, warp, sori…
- le parallélisme : TTV, LTV…
Spécification des tranches : transparentes ou opaques, polies ou non, jusqu’à plusieurs mm d’épaisseur. Le logiciel propose l’utilisation d’un grand nombre de traitements des données brutes afin de mettre en valeur l’information pertinente.
Mesures sur wafers ronds 2 à 6 pouces
Mesures d'état de surface, planeité optiques
Altisurf 520 permet la métrologie d’état de surface et de planéité.
Ce profilomètre est capable d’effectuer des mesures en utilisant plusieurs technologies : confocal chromatique, interférométrie lumière blanche, associées à une caméra CCD de haute résolution.
Deux axes rotatifs peuvent s’ajouter à cette station de métrologie pour répondre aux différents besoins.
Table X-Y 200x200mm couplé avec un porte-instrument en Z équipé de 5 senseurs : 2 sondes confocales chromatiques, une de champ 4mm, une de champ 300µm (précision 12nm),une sonde interférométrique, un capteur microforce de contact et une caméra.
Précisions : planéité 0.3 µm Ra jusqu’à 3nm
Caractérisation structurale des matériaux
Le diffractomètre à rayons X Rigaku Smartlab est un diffractomètre 4 cercles plus particulièrement adapté à la caractérisation de monocristaux et de couches épitaxiées : mesures d’orientation, de qualité cristalline, cartographie de l’espace réciproque.
Il est équipé d’un monochromateur en préparation du faisceau (channel cut 2 rebonds, Ge(220)).
Le diffractomètre peut également être configuré pour la diffraction de poudre.
Mesures géométriques et dimensionnelles optiques
Le projecteur de profil Série IM-7000 (Instant Measurement System) est une machine de mesure 2D automatique combinant haute précision et convivialité.
- Mesure jusqu’à 200mm
- Précision ± 2µm ou ± 5µm (svt champ)
- Autonome et numérique : 99 cotes mesurées en quelques secondes
- Aucune imprécision de mesure due à l'opérateur
- Rapports d'inspection incluant des valeurs statistiques générés automatiquement
- Epi-éclairage annulaire ou par transmission
Mesures d'orientations cristallographiques
L'orientation des échantillons cristallins découpés peut être contrôlée à l'aide d'un goniomètre à rayons X utilisant la loi de Bragg. Si la précision absolue est de l'ordre d'une minute d'angle, la répétabilité de la mesure est de 10'' d'arc.
- tous types de cristaux
- Coupes simple et double rotation
Mesures Physiques : sur projets
Constantes élastiques, piézoélectriques, diélectriques…
